期刊论文

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Конденсированные среды и межфазные границы
TSF-MOCVD – a novel technique for chemical vapour deposition on oxide thin films and layered heterostructures

Roy R. Nygaard¹ Vadim Yu. Ratovskiy¹ Andrey R. Kaul¹ Alexander L. Vasiliev²
[1] Lomonosov Moscow State Univеrsity, 1 Leninskie Gory, Moscow 119991, Russian Federation;National Research Center “Kurchatov University”, 1 pl. Akademika Kurchatova, Moscow 123182, Russian Federation;
关键词: thread-solution feed; tsf; mocvd; epitaxy; thin films; heterostructures;
DOI : 10.17308/kcmf.2021.23/3531
来源: DOAJ


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