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1 Advances in 3D Sensor Technology by Using Stepper Lithography [期刊论文]

来源：Frontiers in Physics , 2021

作者:Adriano Lai;Marco Meschini;Sara Ferrari;等

关键词:3D silicon detectors;stepper;...

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2 Novel 3D Pixel Sensors for the Upgrade of the ATLAS Inner Tracker [期刊论文]

来源：Frontiers in Physics , 2021

作者:Giulia Giannini;Stefano Terzo;Maria Manna;等

关键词:solid state detectors;radiation-hard charged-particle detectors;...

使用许可:CC BY

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