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  • × Kazan Federal University, Russia^1
  • × Low pressures
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1 Gas dynamic characteristics of glow discharge chamber for functional coating deposition. [会议论文]

作者:Israphilov, D.I.^1

关键词:Coating deposition;Discharge chamber;...

会议举办机构:Kazan Federal University, Russia^1

会议时间:2017

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2 Evaluation of the effectiveness of the use of arc plasma generator with distributed parameters for the deposition of functional coatings at low pressures. [会议论文]

作者:Kashapov, N.F.^1;Yu Dautov, G.^2;Dautov, I.G.^1,2;等

关键词:Arc plasma;Distributed parameter;...

会议举办机构:Kazan Federal University, Russia^1

会议时间:2016

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