期刊论文详细信息
Optica Applicata | |
(100) GaAs surface treatment prior to contact metal deposition in AlGaAs/GaAs quantum cascade laser processing | |
Jacek Szade1  Andrzej Wawro1  Maciej Bugajski1  Ewa Papis1  Anna Baranska1  Anna Szerling1  Anna Wojcik-Jedlinska1  Piotr Karbownik1  Witold Rzodkiewicz1  | |
关键词: GaAs; surface treatment; sputter etching; | |
DOI : | |
学科分类:光谱学 | |
来源: Politechnika Wroclawska * Oficyna Wydawnicza / Wroclaw University of Technology | |
![]() |