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Optica Applicata
The study of the good polishing method for polymer SU-8 waveguide
Sahbudin Shaari1  Abang Anuar Ehsan1  Seri Mastura Mustaza1  Fazlinda Ab-Aziz1  Noor Azie Azura Mohd Arif1  Mohammad Syuhaimi Ab-Rahman1  Saiful Dzulkefly Zan1 
关键词: waveguides polishing;    SU-8 polymer;    rotational speed;    sandpaper;    silicon;    cut off length;   
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学科分类：光谱学
来源: Politechnika Wroclawska * Oficyna Wydawnicza / Wroclaw University of Technology
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