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1 Low Temperature Deposition of SiNx Thin Films by the LPCVD Method [期刊论文]

来源：Croatica Chemica Acta , 2012

作者:Gamulin, Ozren;Tijanić, Zdenko;Bogdanović-Radović, Ivančica;等

关键词:silicon nitride;thin film;...

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