来源:Modern Electronic Materials , 2015
作者:Elena I. Shek;Vladimir I. Pavlenkov;David I. Tetelbaum;等
关键词:Silicon;Ion implantation;...
使用许可:Unknown
来源:Modern Electronic Materials , 2015
作者:Elena I. Shek;Vladimir I. Pavlenkov;David I. Tetelbaum;等
关键词:Silicon;Ion implantation;...
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