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1 Design Issues for Low Power Integrated Thermal Flow Sensors with Ultra-Wide Dynamic Range and Low Insertion Loss [期刊论文]

来源：Micromachines , 2012

作者:Paolo Bruschi

关键词:thermal flow sensors;device optimization;...

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2 Microfabrication of a Novel Ceramic Pressure Sensor with High Sensitivity Based on Low-Temperature Co-Fired Ceramic (LTCC) Technology [期刊论文]

来源：Micromachines , 2014

作者:Chen Li;Qiulin Tan;Wendong Zhang;等

关键词:4J33 iron-nickel-cobalt alloy;LTCC;...

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3 Coplanar Electrode Layout Optimized for Increased Sensitivity for Electrical Impedance Spectroscopy [期刊论文]

来源：Micromachines , 2014

作者:Casper Hyttel Clausen;Gustav Erik Skands;Christian Vinther Bertelsen;等

关键词:electrical impedance spectroscopy;sensitivity;...

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4 Static and Dynamic Analysis of Electrostatically Actuated MEMS Shallow Arches for Various Air-Gap Configurations [期刊论文]

来源：Micromachines , 2021

作者:Hassen M. Ouakad, Nouha Alcheikh, Mohammad I. Younis

关键词:MEMS;shallow arch;...

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5 Photonic Crystal Fiber SPR Liquid Sensor Based on Elliptical Detective Channel [期刊论文]

来源：Micromachines , 2021

作者:Yao Wang;Tonglei Cheng;Shuguang Li;等

关键词:photonic crystal fiber;surface plasmon resonance effect;...

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6 Design and Implementation of a Composite Hydrophone of Sound Pressure and Sound Pressure Gradient [期刊论文]

来源：Micromachines , 2021

作者:Shie Yang;Guojun Zhang;Xi Yang;等

关键词:MEMS;cilium;...

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