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1 Analytical model of plasma-chemical etching in planar reactor [会议论文]

作者:Veselov, D.S.^1,2;Bakun, A.D.^1;Voronov, Yu A^1;等

关键词:Analytical expressions;Chemical etching;...

会议举办机构:National Research, Nuclear University, MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute), 31 Kashirskoe highway, Moscow

会议时间:2016

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