• 已选条件:
  • × Department of Electric Engineering and Computer Science, Iwate University, Morioka 020-8551, Japan^2
  • × Low pressure plasma
 全选  【符合条件的数据共:1条】

作者:Takahashi, Kazunori^1,2,3, Miyamoto, Kazuaki^2

关键词:Capacitively coupled discharges;Density ratio;...

会议举办机构:Department of Electrical Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan^1

会议时间:

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