• 已选条件：
  • × 142190, Russia^2
  • × Axially symmetric
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1 Current-pressure characteristics of dc magnetron discharge for high-rate sputtering [会议论文]

作者:Serov, A.O.^1,2;Mankelevich, Yu.A.^1;Pal, A.F.^1,2;等

关键词:Aluminum cathode;Axially symmetric;...

会议举办机构:Skobeltsyn Institute for Nuclear Physics, Lomonosov Moscow State University, Leninskiye Gory 1, Moscow

会议时间:2015

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