会议论文

已选条件：
× 195251, Russia^4
× Subsurface structures

全选【符合条件的数据共：1条】

1 Separation of stress-free AlN/SiC thin films from Si substrate [会议论文]

作者:Redkov, A.V.^1,2;Osipov, A.V.^1,2,3;Mukhin, I.S.^1,3;等

关键词:Chemical etching;Coefficients of thermal expansions;...

会议举办机构:St. Petersburg Academic University, St. Petersburg

会议时间:2016

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摘要

京公网安备340104078870146号 878987797 028-85220240

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