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1 Virtual Metrology applied in Run-to-Run Control for a Chemical Mechanical Planarization process [会议论文]

作者:Jebri, M.A.^1;El Adel, E.M.^1;Graton, G.^1,2;等

关键词:Chemical-mechanical planarization process;Industrial partners;...

会议举办机构:Aix-Marseille Université, CNRS, ENSAM, Universitéde Toulon, LSIS UMR 7296, Av. Normandie-Niemen, Marseille

会议时间:2017

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