全选
【符合条件的数据共:1条】
作者:Ozimek, M.^1,2, Wilczyski, W.^3, Szubzda, B.^1
关键词:Film thickness distribution;Magnetron sputtering process;...
会议举办机构:Electrotechnical Institute Division of Electrotechnology and Materials Science, Wroclaw, Poland^1
会议时间:2016