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  • × Electrotechnical Institute, Warsaw, Poland^3
  • × Pulsed magnetron sputtering
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1 Magnetic thin film deposition with pulsed magnetron sputtering: deposition rate and film thickness distribution [会议论文]

作者:Ozimek, M.^1,2, Wilczyski, W.^3, Szubzda, B.^1

关键词:Film thickness distribution;Magnetron sputtering process;...

会议举办机构:Electrotechnical Institute Division of Electrotechnology and Materials Science, Wroclaw, Poland^1

会议时间:2016

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