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1 Sensor for the working surface cleanliness definition in vacuum [会议论文]

作者:Deulin, E.A.^1, Mashurov, S.S.^2, Gatsenko, A.A.^2

关键词:Adsorbed gas;Modern development;...

会议举办机构:Moscow State Technical University, Russia^1

会议时间:2016

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