• 已选条件:
  • × 119049, Russia^3
  • × Micro-mechanical
 全选  【符合条件的数据共:1条】

作者:Khrushchov, M.^1;Levin, I.^1,2;Marchenko, E.^1;等

关键词:Comprehensive research;Deposition technology;...

会议举办机构:Institute of Machine Studies, Russian Academy of Sciences, Moscow

会议时间:2016

预览  |  原文链接  |  全文  [ 浏览:10 下载:0  ]