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  • × Silicon carbide substrates
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1 Preparation and Properties of Zrb2 Composite Coatings by CVD [会议论文]

作者:Zhou, Lijuan^1;Yin, Kaili^1;Wang, Tianqi^2;等

关键词:Chemical vapour deposition;Deposition layers;...

会议举办机构:School of Materials Science and Engineering, Shandong University of Technology, ZiBo

会议时间:2019

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2 Effect of por-SiC buffer layer on the parameters of thin Er2O3 layers on silicon carbide substrates [会议论文]

作者:Bacherikov, Yu Yu^1;Konakova, R.V.^1;Okhrimenko, O.B.^1;等

关键词:4H-SiC substrate;Atomic compositions;...

会议举办机构:V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv

会议时间:2015

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