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  • × Micro-fabrication techniques
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作者:Shishido, Hiroaki^1,2;Nakagami, Takatoshi^1;Yoshida, Takuya^1;等

关键词:Low growth temperature;Low substrate temperature;...

会议举办机构:Department of Physics and Electronics, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University, Sakai, Osaka

会议时间:2017

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作者:Wang, M.^1,2;Lu, Y.X.^1,3;Liu, L.T.^1;等

关键词:Desirable features;Functionalized;...

会议举办机构:Insititute of Microelectronic, Tsinghua University, Beijing

会议时间:2016

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作者:Dávila, D.^1, Huber, R.^1, Hierold, C.^1

关键词:Micro-fabrication techniques;Patterned microstructures;...

会议举办机构:Micro and Nanosystems, Department of Mechanical and Process Engineering, ETH Zurich, Tannenstrasse 3, Zurich

会议时间:2015

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