会议论文

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× Assembly approach

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1 ProTEK PSB as Biotechnology Photosensitive Protection Mask on 3C-SiC-on-Si in MEMS Sensor [会议论文]

作者:Marsi, N.^1,2;Majlis, B.Y.^3;Mohd-Yasin, F.^4;等

关键词:Assembly approach;Cubic silicon carbide (3C-SiC);...

会议举办机构:Department of Mechanical Engineering Technology, Faculty of Engineering Technology, Universiti Tun Hussein Onn Malaysia (UTHM), Parit Raja, Johor, Batu Pahat

会议时间:2016

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摘要

京公网安备340104078870146号 878987797 028-85220240

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