期刊论文

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CHIMIA
High-resolution, Non-destructive X-ray Tomography

Gabriel Aeppli¹ Roberto Dinapoli² Elisabeth Müller² Jörg Raab² Michal Odstrcil² Oliver Bunk² Mirko Holler² Ana Diaz² Esther H. R. Tsai² Manuel Guizar-Sicairos²
[1] Paul Scherrer Institut, CH-5232 Villigen PSI, Switzerland. mirko.holler@psi.ch;Paul Scherrer Institut, CH-5232 Villigen PSI, Switzerland;
关键词: Integrated circuits; Nano tomography; Ptychography; X-ray imaging;
DOI : 10.2533/chimia.2018.339
来源: DOAJ


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