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Pamukkale University Journal of Engineering Sciences
Al/Si3N4/p-Si aygıtının C-V characteristikleri üzerine metal ile yarıiletken kontak arasındaki yalıtkan tabakanın kalınlık etkisi


关键词: Al/Si3N4/p- Si; Schottky; Capacitance behavior; MIS; Thickness effect; Al/Si3N4/p- Si; Schottky; Kapasitans özelliği; MIS; Kalınlık etkisi;
DOI :
来源: DOAJ


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