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Open Physics
Pt coated Cr2O3 thin films for resistive gas sensors

Gerst Alar¹ Rosental Arnold¹ Tarre Aivar¹ Kikas Arvo² Matisen Leonard² Saar Agu²
[1] ;Institute of Physics, University of Tartu, Riia 142, 51014, Tartu, Estonia;
关键词: semiconductor gas sensors; epitaxial chromia; platinum nanoislands; atomic layer deposition (ald); x-ray photoelectron spectroscopy (xps); 07.07.df; 79.60.jv; 81.07.-b; 81.15.ef; 81.15.kk;
DOI : 10.2478/s11534-009-0049-1
来源: DOAJ


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