| Optica Applicata | |
| Computer simulation studies of roughness of thin films formed in the ion beam assisted deposition (IBAD) process | |
| Piotr ROMISZOWSKI1 Waldemar OLESZKIEWICZ1 | |
| 关键词: Monte Carlo simulation; ion beam assisted deposition (IBAD); thin films growth; morphology; roughness; | |
| DOI : | |
| 学科分类：光谱学 | |
| 来源: Politechnika Wroclawska * Oficyna Wydawnicza / Wroclaw University of Technology | |
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