| Turkish Journal of Physics | |
| EffectofDevelopmentTimeonPolymerPhaseSeparationinaPMMAResist | |
| MOHAMMAD NAEEM KHALID1 | |
| 关键词: e-beam; surface roughness; PMMA; phase separation; develop time.; | |
| DOI : | |
| 学科分类：物理（综合） | |
| 来源: Scientific and Technical Research Council of Turkey - TUBITAK | |
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