MOCVD ile Büyütülen InxGa1-xAs Epikatmanların Optik ve Yapısal Özellikleri

Cumhuriyet Science Journal

关键词: Metal Organik Kimyasal Buhar Depolama MOCVD;    Elipsometre;    HRXRD;    SEM;    In-situ Ölçüm;   

DOI  :  10.17776/csj.349262

学科分类：工程和技术（综合）

来源: Cumhuriyet University

【 摘 要 】

In x Ga 1-x As tabakaları katkısız InP (100) alttaş üzerine Aixtron 200-4 RF/S yatay Metal Organik Kimyasal Buhar Depolama (MOCVD) sistemi ile büyütülmüştür. Bütün epikatmanlar farklı indiyum konsantrasyonlarında büyütülmüştür. Katmanların kalınlıkları Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ile ölçülmüştür. İndiyum konsantrasyonları Yüksek Çözünürlüklü X-ışını Kırınım (HRXRD) cihazı ile tayin edildi ve kırılma indisi (n) ve kalınlıkların belirlenmesi için optiksel ölçümler spektroskopik elipsometre ile yapıldı. In-situ yansıma, örneklerin kalınlıklarının belirlenmesi için kullanılmıştır. Son olarak bütün kalınlıklar karşılaştırılmıştır.

【 授权许可】

CC BY-NC-ND