科研项目详细信息
提高光刻掩模制造性的快速光源掩模优化方法研究 | |
李佳 | |
深圳大学 | |
keywords:光学光刻;分辨率增强技术;光源掩模协同优化;掩模可制造性;光瞳波像差函数 | |
keywords: | |
Subject:物理(综合) | |
中国|中文 | |
2019至2019 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
提高光刻掩模制造性的快速光源掩模优化方法研究 | |
李佳 | |
深圳大学 | |
keywords:光学光刻;分辨率增强技术;光源掩模协同优化;掩模可制造性;光瞳波像差函数 | |
keywords: | |
Subject:物理(综合) | |
中国|中文 | |
2019至2019 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |