科研项目详细信息
提高光刻掩模制造性的快速光源掩模优化方法研究
李佳
深圳大学
keywords:光学光刻;分辨率增强技术;光源掩模协同优化;掩模可制造性;光瞳波像差函数
keywords:
Subject:物理(综合)
中国|中文
2019至2019
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)