科研项目详细信息
纳米结构扫描电子显微俯视图像的三维重建基本模型及算法研究
张利斌
中国科学院微电子研究所
keywords:三维重建;纳米结构;扫描电子显微镜;二次电子成像;功率谱密度
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Subject:电子与电气工程
中国|中文
2019至2019
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)