科研项目详细信息
面向射频芯片应用的TR-SOI材料制备及层转移技术中的氢吸附机制研究 | |
魏星 | |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
keywords:绝缘体上的硅;氢吸附;插入层;射频芯片;键合 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2020至2020 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
面向射频芯片应用的TR-SOI材料制备及层转移技术中的氢吸附机制研究 | |
魏星 | |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
keywords:绝缘体上的硅;氢吸附;插入层;射频芯片;键合 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2020至2020 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |