科研项目

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甚高频脉冲电负性等离子体的激光解吸诊断研究
辛煜
苏州大学
keywords:电负性等离子体;脉冲激光解吸;探针诊断;负离子动力学;等离子体刻蚀
keywords:

Subject:物理(综合)
中国\|中文
2020至2020
Source: 科学基金共享服务网（科技成果信息系统）