科研项目

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金刚石半导体n型高效掺杂微波等离子体CVD的研制
王宏兴
西安交通大学
keywords:微波等离子体CVD;金刚石半导体;掺杂;外延生长;单晶
keywords:

Subject:电子与电气工程
中国\|中文
2021至2021
Source: 科学基金共享服务网（科技成果信息系统）