科研项目详细信息
基于XIL技术的复杂图形光刻技术及其应用研究 | |
杨树敏 | |
中国科学院上海应用物理研究所 | |
keywords:软X射线干涉光刻;泰保效应;并行直写;复杂周期结构 | |
keywords: | |
Subject:物理(综合) | |
中国|中文 | |
2018至2018 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
基于XIL技术的复杂图形光刻技术及其应用研究 | |
杨树敏 | |
中国科学院上海应用物理研究所 | |
keywords:软X射线干涉光刻;泰保效应;并行直写;复杂周期结构 | |
keywords: | |
Subject:物理(综合) | |
中国|中文 | |
2018至2018 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |