科研项目详细信息
基于XIL技术的复杂图形光刻技术及其应用研究
杨树敏
中国科学院上海应用物理研究所
keywords:软X射线干涉光刻;泰保效应;并行直写;复杂周期结构
keywords:
Subject:物理(综合)
中国|中文
2018至2018
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)