科研项目详细信息
深纳米三维FinFET结构栅围寄生电容模型及其波动性分布研究 | |
石艳玲 | |
华东师范大学 | |
keywords:深纳米FinFET器件;寄生电容;器件模型;工艺波动性;统计分布 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2019至2019 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
深纳米三维FinFET结构栅围寄生电容模型及其波动性分布研究 | |
石艳玲 | |
华东师范大学 | |
keywords:深纳米FinFET器件;寄生电容;器件模型;工艺波动性;统计分布 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2019至2019 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |