科研项目详细信息
基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
keywords:气体传感器;化学机械传感器;敏感效应;参数定量提取;MEMS传感器
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Subject:电子与电气工程
中国|中文
2020至2020
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)