科研项目详细信息
基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置 | |
李昕欣 | |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
keywords:气体传感器;化学机械传感器;敏感效应;参数定量提取;MEMS传感器 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2020至2020 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置 | |
李昕欣 | |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
keywords:气体传感器;化学机械传感器;敏感效应;参数定量提取;MEMS传感器 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2020至2020 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |