科研项目

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基于完全自对准结构的单电子晶体管研究
杨香
中国科学院半导体研究所
keywords:单电子晶体管;自对准;CMOS工艺兼容;自限制氧化;表面态
keywords:

Subject:电子与电气工程
中国\|中文
2017至2017
Source: 科学基金共享服务网（科技成果信息系统）