科研项目详细信息
面向MEMS压力传感器的硅纳米线压阻特性研究
张明亮
中国科学院半导体研究所
keywords:压阻特性;硅纳米线;浓硼掺杂硅;自停止腐蚀;MEMS压力传感器
keywords:
Subject:电子与电气工程
中国|中文
2017至2017
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)