科研项目详细信息
面向MEMS压力传感器的硅纳米线压阻特性研究 | |
张明亮 | |
中国科学院半导体研究所 | |
keywords:压阻特性;硅纳米线;浓硼掺杂硅;自停止腐蚀;MEMS压力传感器 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2017至2017 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
面向MEMS压力传感器的硅纳米线压阻特性研究 | |
张明亮 | |
中国科学院半导体研究所 | |
keywords:压阻特性;硅纳米线;浓硼掺杂硅;自停止腐蚀;MEMS压力传感器 | |
keywords: | |
Subject:电子与电气工程 | |
中国|中文 | |
2017至2017 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |