科研项目详细信息
| 高性能低功耗体硅器件与埋氧器件的集成整合技术研究 | |
| 唐兆云 | |
| 中国科学院微电子研究所 | |
| keywords:体硅器件;埋氧器件;三维器件 | |
| keywords: | |
| Subject:电子与电气工程 | |
| 中国|中文 | |
| 2017至2017 | |
| Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
| 高性能低功耗体硅器件与埋氧器件的集成整合技术研究 | |
| 唐兆云 | |
| 中国科学院微电子研究所 | |
| keywords:体硅器件;埋氧器件;三维器件 | |
| keywords: | |
| Subject:电子与电气工程 | |
| 中国|中文 | |
| 2017至2017 | |
| Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |