科研项目详细信息
高性能低功耗体硅器件与埋氧器件的集成整合技术研究
唐兆云
中国科学院微电子研究所
keywords:体硅器件;埋氧器件;三维器件
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Subject:电子与电气工程
中国|中文
2017至2017
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)