科研项目详细信息
纳米纤维森林结构制备方法及其红外吸收特性研究
毛海央
中国科学院微电子研究所
keywords:纳米纤维森林;MEMS红外传感器;红外吸收特性;等离子体再聚合;集成制备工艺
keywords:
Subject:电子与电气工程
中国|中文
2017至2017
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)