科研项目详细信息
| 纳米纤维森林结构制备方法及其红外吸收特性研究 | |
| 毛海央 | |
| 中国科学院微电子研究所 | |
| keywords:纳米纤维森林;MEMS红外传感器;红外吸收特性;等离子体再聚合;集成制备工艺 | |
| keywords: | |
| Subject:电子与电气工程 | |
| 中国|中文 | |
| 2017至2017 | |
| Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
| 纳米纤维森林结构制备方法及其红外吸收特性研究 | |
| 毛海央 | |
| 中国科学院微电子研究所 | |
| keywords:纳米纤维森林;MEMS红外传感器;红外吸收特性;等离子体再聚合;集成制备工艺 | |
| keywords: | |
| Subject:电子与电气工程 | |
| 中国|中文 | |
| 2017至2017 | |
| Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |