科研项目

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非极性面AlN衬底材料的HVPE制备及缺陷控制机理研究
张纪才
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
keywords:氮化铝;非极性;缺陷;晶体生长;氢化物气相外延
keywords:

Subject:电子与电气工程
中国\|中文
2018至2018
Source: 科学基金共享服务网（科技成果信息系统）