科研项目详细信息
面向恶劣环境的三维集成电容式多参数无源LTCC传感器敏感机理、制造及测试技术基础研究
谭秋林
中北大学
keywords:三维集成;LTCC微组装;多参数;无源微传感器;恶劣环境
keywords:
Subject:电子与电气工程
中国|中文
2018至2018
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)