科研项目详细信息
基于UV-LIGA工艺的500GHz定向耦合器制造 | |
张斌珍 | |
中北大学 | |
keywords:耦合器;太赫兹;UV-LIGA;微机电系统 | |
keywords: | |
Subject:机械工程学 | |
中国|中文 | |
2018至2018 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |
基于UV-LIGA工艺的500GHz定向耦合器制造 | |
张斌珍 | |
中北大学 | |
keywords:耦合器;太赫兹;UV-LIGA;微机电系统 | |
keywords: | |
Subject:机械工程学 | |
中国|中文 | |
2018至2018 | |
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统) |