科研项目详细信息
基于UV-LIGA工艺的500GHz定向耦合器制造
张斌珍
中北大学
keywords:耦合器;太赫兹;UV-LIGA;微机电系统
keywords:
Subject:机械工程学
中国|中文
2018至2018
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)