科研项目详细信息
面向高密度三维集成的玻璃等离子体深刻蚀技术研究
靖向萌
中国科学院微电子研究所
Subject:电子与电气工程
中国|中文
2015至2015
Source: 科学基金共享服务网(科技成果信息系统)