科研项目

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大尺度下深纹纳米结构制造方法与机理表征
陈林森
苏州大学
keywords:三维光场;柔性化;大尺度纳米结构;干涉光刻;紫外激光
keywords:3D optical field;flexible;nanostructure;Interference lithography;UV laser

Subject:机械工程学
中国\|中文
2014至2014
Source: 科学基金共享服务网
Link: http://npd.nsfc.gov.cn/projectDetail.action?pid=91023044