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1 Formation of Metal Silicide and Metal Germanosilicide Contacts to Si[subscript 1-x]subscript Ge[subscript x] Alloys [学位论文]

作者:Burnette, James E. Jr.;Dale Sayers, Committee Member,Robert Nemanich, Committee Member,Gregory Parsons, Committee Member,David Aspnes, Committee Member,Burnette, James E. Jr.;Dale Sayers;等   

论文开放时间:2004

关键词:germanium;titanium;...

培养单位:University:North Carolina State University

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