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1 The Atomic Layer Deposition of Noble Metals for Microelectronics Applications [学位论文]

作者:Park, Kie Jin;Gregory N. Parsons, Committee Chair,Park, Kie Jin;Gregory N. Parsons;等   

论文开放时间:2006

关键词:thin film deposition;noble metals;...

培养单位:University:North Carolina State University

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