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1 Dielectric charging in capacitive RF MEMS switches with silicon nitride and silicon dioxide [学位论文]

作者:Tavassolian, Negar, Electrical and Computer Engineering   

论文开放时间:2011

关键词:Dielectric charging;Capacitive MEMS switches

培养单位:University:Georgia Institute of Technology

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2 Stochastic multiphysics modeling of RF MEMS switches [学位论文]

作者:Sumant, Prasad S.   

论文开放时间:2010

关键词:Microelectromechanical systems (MEMS);Modeling;...

培养单位:

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