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1 Elimination of 'Ghost'-Effect-Related Systematic Errors in Metrology of X-ray Optics with a Long Trace Profiler. [科技报告]

作者:Yashchuk, V. V., Irick, S. C., MacDowell, A. A.

发布日期:2005

关键词:Long trace profiles;Systematic errors;...

发布机构:Technical Information Center Oak Ridge Tennessee

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