来源:Sensors & Transducers , 2011
作者:Mahmoud Soltani, Reza Alimardani
关键词:Capacitive sensor;Instrument;...
使用许可:Unknown
来源:Sensors & Transducers , 2009
作者:B. N. Baliga;Kamaljeet Singh;Sanjay Verma;等
关键词:Bulk-micromachining;Capacitive sensor;...
使用许可:Unknown