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1 Ultrathin Amorphous Carbon as Active Part of Vibrating MEMS [期刊论文]

来源：Proceedings , 2018

作者:Delaunay, Marc, Thibert, Sébastien, Ghis, Anne

关键词:MEMS;ultrasound;...

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2 Tuneable Q-Factor of MEMS Cantilevers with Integrated Piezoelectric Thin Films [期刊论文]

来源：Proceedings , 2017

作者:Fischeneder, Martin

关键词:Q-factor;MEMS cantilever;...

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3 Controlled Deposition of Tin Oxide and Silver Nanoparticles Using Microcontact Printing [期刊论文]

来源：Crystals , 2015

作者:Joo C. Chan, Nicole Hannah-Moore, Shankar B. Rananavare

关键词:nanoparticles;tin oxide;...

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4 A Performance Improvement Method for Low-Cost Land Vehicle GPS/MEMS-INS Attitude Determination [期刊论文]

来源：Sensors , 2015

作者:Li Cong;Ercui Li;Honglei Qin;等

关键词:GPS;attitude determination;...

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5 Measurement and Evaluation of the Gas Density and Viscosity of Pure Gases and Mixtures Using a Micro-Cantilever Beam [期刊论文]

来源：Sensors , 2015

作者:Anastasios Badarlis, Axel Pfau, Anestis Kalfas

关键词:gas density;gas viscosity;...

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6 A Unique Self-Sensing, Self-Actuating AFM Probe at Higher Eigenmodes [期刊论文]

来源：Sensors , 2015

作者:Zhichao Wu;Tong Guo;Ran Tao;等

关键词:AFM;quartz tuning fork;...

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