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1 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Cobalt Films Using Co(EtCp)2 as a Metal Precursor [期刊论文]
来源:Nanoscale Research Letters , 2019
作者:Wen-Jun Liu;Zi-Jun Ding;David Wei Zhang;等
关键词:Co films;Atomic layer deposition;...
使用许可:CC BY